Флаг войск радиационной, химической и биологической защиты учрежден приказом Министра обороны Российской Федерации от 21 апреля 2005 г.

Флаг войск радиационной, химической и биологической защиты представляет собой крест белого цвета с расширяющимися желто-черно-желтыми концами креста. В центре полотнища - изображение правильного контурного золотого шестиугольника, в черном поле которого три расходящихся золотых луча с четырьмя взаимопересеченными красными кольцами в нижней части, на серебряных диагонально перекрещенных пламенеющей стреле и дымовом факеле.

Отношение ширины флага к его длине 2:3.